1.PLD-450a?
脉冲激光溅射沉积系?
系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工佡气路、抽气系统、讉装机台、真空测量及电控系统等部分组成?
用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膨、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备?
2.磁控I溅射系统
磁控溅射是物理气相沉秡(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金屨w、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于Ꭷ制、镀膜面积大和附着力Z等优点?
3.布鲁克Multimode 8原娎力显微镜
主要模式包括AFM、PFM、C-AFM、STM、EFM等?
通过对样品表面施加小于矫顽场的K个交流的电压,从而得到压电信号输出样員的表面形貌、畴、表面电荷等图片?
4.Radiant铁电测试?span style="font-family: 宋体">
测试薄膜及陶瓷的铁电性能(P-E曲线)?
5.电学兦Ρ伏测量系统
测量不同光照强度下薄膜的光电信号?
6.精密光学显微?/strong>
最大光学放大倍数?000倍?
7.Agilent4294A
测试陡瓷的介电性能,包括阻抗、电容等参数?
8.PEM-1020 型|磁铁系统
可用于磁参数测量,也u可用于为铁氧体等磁性产品充磁?
9.CNA-11系列氦压缩机系统
可制造出4K的低温,用于研究半导体、铁电体的低温性质?
10.流延?/strong>
用于浆料流延制备薄至処微米的生片?
11.差热分析?/strong>
(DTA, Netzsch STA449C Jupiter)
可以快速而深入地对材料的热稳定性,分解行为,组分分析,相转变,熔融迨程等进行表征。易于使v用的顶部装样式系统,称重系解析度高,长时间稳定性高?
12.sol-gel制备薄膜系统
Sol-Gel溶胶-凝胶法是制备条料的湿化学方法中的一种新方法。它是一种由金属有机化合物,金属无机匡Ж合物或者二者混合物经过水解缩聚过程,逐渐凝胶化及进行相应的后处理,从而获得氧化物或其他化合物的工艺?
13.电化学工作站
电化学工作站集成了线扫伏安、脉冲伏安、阶跃、溶出、脉冲电镀、交流阻抗谱、限压反馈循环充放电、零阡电流检测等电化学控制与测量技术?
14.真空手套?/strong>
主要功能在于对氧气、水、有机气体的清除,广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境。主要用于制备对空气、湿度等有较高衽求的半导体材斡?
邮箱:yuanguoliang@njust.edu.cn
邮编?10094
通信地址:南京市孝י卫街200号南京理工大学材料科学与工程学院材料科学研究中心519?/span>